
非等向性蝕刻劑
非等向性蝕刻劑使用過後,可形成高度垂直側壁
競爭優勢
相較於一般蝕刻劑,能使側壁更趨向垂直。
特色
添加特製的護岸劑,可用以防止水平向侵蝕。
由於蝕刻劑的弱流動性,護岸劑選擇性地停留在側壁,沿著pattern的側壁形成護岸膜。
可針對客戶需求量身訂做。
非等向性蝕刻劑使用過後,可形成高度垂直側壁
競爭優勢
相較於一般蝕刻劑,能使側壁更趨向垂直。
特色
添加特製的護岸劑,可用以防止水平向侵蝕。
由於蝕刻劑的弱流動性,護岸劑選擇性地停留在側壁,沿著pattern的側壁形成護岸膜。
可針對客戶需求量身訂做。