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產品介紹

SiO2拋光液

1.良好的分散穩定性,不易沉澱,使用壽命長。

2.粒徑分布窄,不易造成刮傷。

3.易清洗,不會殘留在晶片上。

4.無毒、無環境荷爾蒙亦不含溶劑、無VOC...等環保問題。

5.可用於半導體、光電半導體材料,例如矽晶圓、碳化矽晶圓、藍寶石晶圓、砷化鎵晶圓、氮化鎵晶圓、藍寶石基板、精密光學元件…等的拋光。

雷切保護液

將雷切保護液在雷射切割加工前塗於表面,可防止切割過熱、灼傷基板,並可大幅抑制加工過程產生異物黏附,提升加工物表面精準性。

其設計方向為水溶性,藥劑濕潤分散性良好,易塗佈於表面,同時提升加工完之清洗性,且此為高濃度產品,使用上頗具經濟性。

適用於矽晶圓、玻璃基板或藍寶石基板等。